MPCVD

微波電漿化學氣相沉積 (MPCVD) 是一種利用微波能將反應氣體（通常為甲烷CH₄ 與氫氣 H₂）激發為高密度等離子體，並在真空環境中將活性基團沉積於襯底上以生長高品質、大面積晶體（如鑽石）的技術。其原理核心在於「微波無極放電」，利用高頻電磁場使氣體分子電離，產生高溫與活性能量，在低壓下以原子級精度「培育」材料，具有純度高、無污染、穩定性強的優點。 

※MPCVD依照客戶需求設計製造(定製品)