爐管（Tube Furnace）原理是利用電阻加熱元件在石英管周圍產生高溫（通常>800℃），並在受控的氣氛環境中，對晶圓或樣品進行氧化、摻雜、退火或化學氣相沉積（CVD）等熱處理工藝。關鍵在於均勻加熱、壓力控制與氣體流量控制，使材料達到理想的物理或化學特性。

※常用最高加熱溫度是 1200℃,加熱區長度是18″

更高溫的1500℃及1700℃,加熱區長度 28″, 36″為特殊品 ,另行提供規格

品名/型號	Single Zone
特點	①双層鋼板隔熱,氣冷 ②氧化纖維材斷熱防止熱散失 ③上下分開方便更換管子
石英加熱管(擇一) (O.D x I.D x L mm)	60x55x100076x70x100080x72x1000101x92x1000
電源	AC 110V/220V 50/60Hz , 20Abreaker
功率	3 kw
加熱溫度	1200℃(惰性氣體環境下, <1h) 1000℃(真空環境下,連續) 加熱速率: Max.20℃/min
加熱區域長度	440mm
恆溫區域長度	150mm (±2℃)   加熱區溫度範圍:    —±10℃( 中心320mm)    —±5℃(中心220mm)
溫度控制	PID可程式化控制器 附有斷線警報/超溫警報 溫度精密度: ± 1 ℃
外形尺寸	上蓋 close 600mm×450mm×550mm (L x W x H) 上蓋 open 350mm×450mm×mm810 (L x W x H)
重量	40kg

品名/型號	2 Zone
特點	①双層鋼板隔熱,氣冷 ②氧化纖維材斷熱防止熱散失 ③上下分開方便更換管子
適用加熱管直徑 (ODXIDXL mm)	石英管 60  (60x55x1000) 80  (80x72x1000) 100  (101x92x1000)
電源	AC 208-240V 50/60Hz ,breaker:20A
功率	3 KW
操作溫度	1100℃(連續) 1200℃(<1h) 加熱速率: ≦20℃/min.
加熱區域長度	432mm (17”) Z1:196mm(7.7”), Z2:196mm(67.7”),
恆溫區域長度	Z1,Z2 : 150mm (±1℃) Z1,Z2設相同溫度時: 200mm(±1℃)
溫度控制	2 x PID可程式化控制器(每一區一個) 附有斷線警報/超溫警報 感溫棒: K-type 通訊埠: RS485 溫度精密度: ± 1 ℃
外形尺寸	上蓋closed 645mm×438mm×545mm (L x W x H) 上蓋open 645mm×585mm×800mm (L x W x H)
重量	42kg

品名/型號	3 Zone
特點	①双層鋼板隔熱,氣冷 ②氧化纖維材斷熱防止熱散失 ③上下分開方便更換管子
適用加熱管直徑 (ODXIDXL mm)	60  (60x55x1000) 80  (80x72x1000) 100  (101x92x1000)
電源	AC 208-240V 50/60Hz  25Abreaker
功率	4 KW
操作溫度(連續)	1200℃(流動氣體下<1h) 連續加熱1100°C (真空流動氣體下) Max.加熱速率: 20℃/min.
加熱區域長度	450mm (18”) Z1:152.4mm(6”), Z2:152.4mm(6”), Z3:152.4mm(6”)
恆溫區域長度	200mm (±1℃)
溫度控制	3 x PID可程式化控制器(每一區一個) 附有斷線警報/超溫警報 感溫棒: K-type 通訊埠: RS485 溫度精密度: ± 1 ℃
外形尺寸	上蓋closed 645mm×410mm×545mm (L x W x H) 上蓋open 645mm×550mm×800mm (L x W x H)
重量	45kg