閘閥
作動方式	手動	氣動
法蘭接口	CF63 , CF100 , CF160 ISO63 , ISO100, ISO160
使用壓力	7.5 x 10 -11 ~ 760 Torr (1 x 10 -10~1013 mbar)
洩漏率	1.500 x 10-9 Torr*L/s
使用溫度	作動器  :   60.0 ºC (140 ºF) Closed Bake  : 150 ºC  (302 ºF) Open Bake  :  200ºC  (392ºF)
軸密封材料	300 Series SS Bellows
使用壽命	10,000
最大壓差 (開啟前)	22.5  Torr
Bonnet 密封材質	Flourocarbon (FKM)  Viton
閥本體材料	304L SS
閥密封材質	Flourocarbon (FKM)