MPCVD

型號	MPCVD1200
腔體	Ø 300×400 mm
微波裝置組	微波源, 波導管 (1O KW / 2.45 GHz)
真空泵浦	油迴轉泵浦
真空計及顯示器	高中低真空計一組
質量流量計及顯示器	控制器5 組  顯示器2組
控制方式	PLC + 觸控螢幕