真空系統

PVD
PECVD
LPCVD
MPCVD
THCVD
THCVD
ALD
真空零組件

真空泵浦
真空閘閥

真空直線運動

真空角閥
質量流量計與顯示器
壓力控制器
真空計與顯示器

—–低真空計

—–高真空計

—–超高真空計

磁控濺鍍槍
真空放洩閥
真空加熱器
真空過濾器
視窗
真空饋通器

—–旋轉饋通器

—–電源及熱電偶饋通器

電漿電源供應器
真空法蘭及連接配件

—–BELLOWS

設備

晶圓乾燥器
紫外線臭氧清洗機
超音波清洗機

滾筒罐磨機

行星式罐磨機

塗佈機

電極片膜切機

滾壓機

極耳剪切機

手動疊片機

自動鈕扣電池壓合機

鈕扣電池壓合機

光學片壓片機
LED擴晶機

水熱合成反應釜

氫氣.氣體產生機

烘箱

防爆櫃

加熱攪拌器
手套箱
光學平台
冰水機
真空烘箱
鈕扣電池壓合機
溫度控制器
高溫爐

儀器

密度量測儀
比重量測儀
無塵室

無塵工作檯
潔淨棚
小型無塵室

耗材

濺鍍靶材
石英管
坩堝
真空油與油脂
基板_光學玻璃
晶圓盒
無塵紙
黏塵腳墊
鑷子_載網