角閥 , 直角閥
作動方式	手動	氣動	電動
法蘭接口	CF16, CF35, CF63 KF16, KF25, KF40, KF50 ISO63 , ISO80, ISO100
使用壓力	7.5 x 10-9 Torr (1 x 10-8 mbar)
洩漏率	1.5 x 10-9 Torr*L/s
使用溫度	作動器 : 80.0 ºC  (176 ºF) Closed Bake : 100 ºC (212 ºF) Open Bake : 100 ºC (212 ºF)
Bonnet 密封材質	Flourocarbon (FKM)
閥本體材質	304L SS
Poppet 材質	Flourocarbon (FKM)
軸密封	Welded Bellows