乾式泵浦

| 型號 | nXDS6i | nXDS10i | nXDS15 | nXDS20i | XDS35i |
| 泵浦容量 | 50 (Hz) 6.20 m3/hr 60 (Hz) 6.12 m3/h | 50 (Hz) 11.4 m3/hr 60 (Hz) 11.4 m3/hr | 50 (Hz) 15.1 m3/hr 60 (Hz) 15.1 m3/hr | 50 (Hz) 22.0 m3/hr 60 (Hz) 22.1 m3/hr | 50 (Hz) 22.0 m3/hr 60 (Hz) 22.1 m3/hr |
| 極限壓力 | 3.75 x 10-2 Torr | 3.00 x 10-2 Torr | 3.00 x 10-2 Torr | 4.50 x 10-2 Torr | 1.50 x 10-2 Torr |
| 馬達 HP (kW) | 0.35 ( 0.26 ) | 0.38 ( 0.28 ) | 0.40 ( 0.30 ) | 0.35 ( 0.26 ) | 0.80 ( 0.60 ) |
| 入口 | KF25 | KF25 | KF25 | KF25 | KF40 |
| 排氣口 | KF25 | KF25 | KF25 | KF25 | KF25 |
| 噪音 db(A) | 52.0 | 52.0 | 52.0 | 52.0 | 57.0 |
| 重量 Lbs (kg) | 58.0 ( 26.2 ) | 57.0 ( 25.8 ) | 56.0 ( 25.2 ) | 56.0 ( 25.6 ) | 105 ( 48.0 ) |
| 尺寸 (mm.) (W/D/H) | 265 x 432 x 286 | 265 x 432 x 286 | 265 x 432 x 286 | 265 x 432 x 286 | 333 x 476 x 397 |
