Si基板

Si 基板
外徑尺寸	1”	2”	3”	4”	5”	6”	8”	12”
拉晶方式	CZ
直徑/公差	25.4±0.3	50.8±0.3	76.2±0.3	100±0.3	125±0.4	150±0.4	200±0.4	300±0.4
Doping	N型 , P型
ORITENTION	100/111/110
電阻率OHM-CM	<0.0015 , 0.001-0.005 , 0.01-0.05 , 0.1-0.9 , 1-10 , 10-50
厚度 µm	50-10000
平整度	<3 µm
粗糙度Ra	<0.5 NM
彎曲度	<20µm
翹曲度	<20µm
包裝方式	10片  , 25片