型號		PEC1200
腔體尺寸		Ø350mm X 400mm (SUS304 )四面水冷循環槽(BAFFLE)
腔門/視窗		前開式 /  4”
SHOWER		6”
真空度		≦5×10-4 Pa (3.75×10-6 torr)
工作壓力		9.9X10-4 ~ 10 Torr
載台	直徑	4”
	加熱	500℃
	旋轉	0-20 RPM
	上下	馬達升降行程100mm
電漿電源供應器		RF 600W
真空泵浦		油迴轉泵浦 , TURBO PUMP
真空計及顯示器		高中低真空計一組
質量流量計及顯示器		控制器3 組  顯示器1組
控制方式		PLC + 觸控螢幕