型號	EB1200
腔體	Ø500 x500 mm , SUS304,
蒸發源	Electron Beam
蒸發電流	300A
電子槍	新式電子槍
坩堝數	6孔
載台	直徑150 mm , 載台可旋轉, 上下可移動距離: 200mm 載台可加熱＜500℃
極限真空	1.0e-5PA (3.75×10-7Torr)
真空泵浦	油式迴轉泵浦+TURBO PUMP
膜厚監測	採用進口膜厚監測計
視窗口	4” X射線濾光玻璃
真空度	高中低真空計 各一
流量計	質量流量計x2
電源	AC220V , 50/60Hz
總體尺寸	1000x800x1500 mm