單片晶圓盒
規格	2”, 3”, 4”, 5”, 6”
容量	1 片
材質	PP

晶圓承載盒
型號	WB-2	WB-4	WB-6
適用晶圓尺寸	2英吋	4英吋	6英吋
尺寸 LXWXH (mm)	160x 63x 66	163 x146 x 121	180x142x185
容量	最多 25 個晶圓	最多 25 個晶圓	最多 25 個晶圓
材料	聚丙烯	聚丙烯	聚丙烯
潔淨室等級	100	100	100