視窗
| 法蘭接口規格 | CF16,CF35,CF63,CF100 KF16.KF25,KF40,KF50 |
| 視窗材質 | BSi glass, (常用) |
| Quartz (Fused Silica) | |
| DUV Sapphire | |
| UV Sapphire | |
| 法蘭材質 | SUS304L SS |
| 襯套材質 | KOVAR |
| 溫度範圍 | 0-350℃, Sapphire 0-450℃, 0-200℃(KF) |
| 法蘭接口規格 | CF16,CF35,CF63,CF100 KF16.KF25,KF40,KF50 |
| 視窗材質 | BSi glass, (常用) |
| Quartz (Fused Silica) | |
| DUV Sapphire | |
| UV Sapphire | |
| 法蘭材質 | SUS304L SS |
| 襯套材質 | KOVAR |
| 溫度範圍 | 0-350℃, Sapphire 0-450℃, 0-200℃(KF) |