| 型號 | PEC1200 | |
| 腔體尺寸 | Ø350mm X 400mm (SUS304 )四面水冷循環槽(BAFFLE) | |
| 腔門/視窗 | 前開式 / 4” | |
| SHOWER | 6” | |
| 真空度 | ≦5×10-4 Pa (3.75×10-6 torr) | |
| 工作壓力 | 9.9X10-4 ~ 10 Torr | |
| 載台 | 直徑 | 4” |
| 加熱 | 500℃ | |
| 旋轉 | 0-20 RPM | |
| 上下 | 馬達升降行程100mm | |
| 電漿電源供應器 | RF 600W | |
| 真空泵浦 | 油迴轉泵浦 , TURBO PUMP | |
| 真空計及顯示器 | 高中低真空計一組 | |
| 質量流量計及顯示器 | 控制器3 組 顯示器1組 | |
| 控制方式 | PLC + 觸控螢幕 | |