Vacuum pump accessories

 FL20K是一款專為旋片式真空幫浦設計的前級過濾器/油霧捕捉器（Foreline Trap）。它內部裝填特殊活性氧化鋁，能吸附幫浦運作產生的油氣，提供高達 99.9% 的油氣捕集率，主要用於防止油霧回流污染真空系統或質譜儀等設備。

EMF3 油霧過濾器是一款專為小型旋片式真空幫浦設計的排氣過濾裝置。它透過纖維濾材攔截並凝結油霧，在 DOP 測試中具備高達 99.999% 的過濾效率。捕捉到的油還能順流回幫浦重複使用，有效防止油霧污染環境。

EMF 油霧過濾器可透過選配的專用 油回流套件（通常包含在氣鎮管路中）將截留的油持續返回幫浦。此方法能自動回收過濾器底部積聚的油，大幅減少幫浦油料消耗，但僅限於所抽氣體不會污染或劣化幫浦油的情況下使用。

油迴轉泵浦的粉塵過濾器（通常安裝於進氣端作為前置灰塵過濾器）主要用於阻擋製程或環境中的粉塵、微粒與雜物進入幫浦內部，以保護轉子與葉片、防止泵油遭汙染並延長設備壽命。

真空泵浦入口粉塵過濾器是安裝在真空泵浦進氣口前的保護裝置，用來阻絕固體顆粒、灰塵與碎屑被吸入泵體。

主要功能

保護泵浦：防止粉塵造成內部零件（如旋轉葉片或壓縮室）磨損或嚴重損壞。

延長壽命：減少運轉中斷的風險，提升設備運行的可靠度與壽命。

穩定真空：維持系統的過濾效率，確保真空度不受雜質影響。