Helium leak detector

氦氣測漏儀（Helium Leak Detector）是一種利用氦氣作為示蹤氣體的精密測漏設備，主要透過質譜分析法偵測極微小的氣體洩漏。常用於半導體設備、真空系統與高壓管線的微漏檢測

廠牌PFEIFFER
ModelASM340
Backing pump capacity15 m3/h
FlangeDN25 ISO-KF
Pumping speed for He2.5L/s
Minimum detectable leak rate for Helium<5 x 10-13 Pa x m3/s
Detectable gases4He 3He H2
Weight56 KG