真空零組件 真空泵浦 真空閘閥 真空角閥 真空線性.旋轉運動組件 真空放洩閥 濺鍍槍 基板加熱器 FEEDTHROUGH >旋轉FEEDTHROUGH >電源及熱電偶FEEDTHROUGH 質量流量計與顯示器 真空計與顯示器 壓力控制器 真空過濾器 視窗 真空法蘭及連接配件 氣體管路零配件