依用戶真空設備接口(ISO,CF…)設計安裝此加熱盤

傳導式加熱盤
最高溫度	950℃
盤面尺寸	2” , 3”
Oxygen 容許度	760 Torr
溫控	PID
溫度精度	± 1 ℃
溫度均勻度	± 5 ℃
固定法蘭	ISO160
其他	遮蔽板

依用戶真空設備接口(ISO,CF…)設計安裝此加熱盤

輻射式加熱盤
最高溫度	850℃
盤面尺寸	2” , 3”
Oxygen 容許度	760 Torr
溫控	PID
溫度精度	± 1 ℃
溫度均勻度	± 5 ℃
固定法蘭	ISO160

依用戶真空設備接口(ISO,CF…)設計安裝此加熱盤

加熱元件

小元件膜式加熱器
基座	4” 基座 (或其他基座亦可)
加熱元件固定座	40  x 32 x 5 mm
試片大小	適合 10x10x1mm
試片夾持方式	兩側壓板方式
熱電偶	K type
加熱器電源與溫度顯示	1.可程式DC電源供應器 + PID溫控器 2.加熱器專用電源
加熱元件	PTC 電阻,電阻12 Ω ± 10%, 尺寸 13mm x 16mm x 0.63mm 基材Al2O3 溫度範圍 -50℃ ~ 800℃ 加熱時間: 10 sec內 > 100℃

依用戶真空設備接口(ISO,CF…)設計安裝此加熱盤