手套箱
一. 操作室 1.尺寸: 1200 L x 750 D x 900 H mm 2.雙手套/前窗 3.箱體材質: SUS304 /3mm厚 4.前窗: 透明強化玻璃 5.手套口材質: POM 5.接口: KF40x1,電源接口x1,           備用接口x3 6.PLC,觸控螢幕操作監控 7.封閉系統循環,真空環境 8.氣體壓力可控制在 ±10mbar  
二. 氣體淨化系統     1. 容器材質: SUS304 2. 除水及除氧     3. 淨化材料: 銅觸媒,分子篩     4. 水氧標準:< 1 ppm     5. 再生:PLC控制程序
三. 主過渡腔體    1. 腔體材質: SUS304    2. 尺寸:Ø360mm x 600mm    3. 內置滑動托盤    4. 電磁閥觸控螢幕操作
四. 副過渡腔體    1. 尺寸: Ø150mm x 300mm    2. 操作: 手動螺紋鎖緊