THERMAL ALD
| 晶圓最大尺寸 | 最大12″ |
| 基板加熱溫度 | 400ºC |
| 前驅物及氣體管路數量 | 3 |
| 前驅物bottles可加熱溫度 | 20℃ |
| ALD Valve | ALD 專用快速閥 |
| 真空度 | <5*10-3Torr |
| 載氣系統 | N2 |
| 控制系統 | PLC,觸控螢幕 |
| 電源 | AC 220V/20A 50-60Hz, |
| 整體尺寸 | 1100X800X1600 mm |
PLASMA ALD
| 晶圓最大尺寸 | 最大12″ |
| 基板加熱溫度 | 400ºC |
| 前驅物及氣體管路數量 | 3 |
| 前驅物bottles可加熱溫度 | 20℃ |
| 電漿源 | remote ICP discharge plasma |
| ALD Valve | ALD 專用快速閥 |
| 真空度 | <5*10-3Torr |
| 載氣系統 | N2 |
| 控制系統 | PLC,觸控螢幕 |
| 電源 | AC 220V/20A 50-60Hz, |
| 整體尺寸 | 1100X800X1600 mm |