靶材直徑	1” ,2” ,3” ,4”
靶材厚度	1mm, 2mm, 3mm, 4mm, 6mm
靶材純度	99% , 99.9%, 99.99%, 99.999%
濺鍍材料	Al/Cu, AlN, Al2O3, Al, BaTiO3, B4C, BN, B, C, CdS, Cr2O3, Cr, CoFe2O4, Co/Fe/B, Co, CuO, Cu, GeTe, Ge, Au, HfO2, ITO, Fe2O3, MgO, NiFe 2 O 4, Ni, Pt, SiO 2, Si, Ag, SnO 2, TiO 2, Ti, WC, ZnO, ZnS, ZrO 2

銅背板 及 梆定
材質	銅
直徑	1” , 2”, 3”, 4”, 5”, 6”, 7”, 8”
厚度	1.5mm , 3mm
保持性	磁性 , 無磁性