| 靶材直徑 | 1” ,2” ,3” ,4” |
| 靶材厚度 | 1mm, 2mm, 3mm, 4mm, 6mm |
| 靶材純度 | 99% , 99.9%, 99.99%, 99.999% |
| 濺鍍材料 | Al/Cu, AlN, Al2O3, Al, BaTiO3, B4C, BN, B, C, CdS, Cr2O3, Cr, CoFe2O4, Co/Fe/B, Co, CuO, Cu, GeTe, Ge, Au, HfO2, ITO, Fe2O3, MgO, NiFe 2 O 4, Ni, Pt, SiO 2, Si, Ag, SnO 2, TiO 2, Ti, WC, ZnO, ZnS, ZrO 2 |
| 銅背板 及 梆定 | |
| 材質 | 銅 |
| 直徑 | 1” , 2”, 3”, 4”, 5”, 6”, 7”, 8” |
| 厚度 | 1.5mm , 3mm |
| 保持性 | 磁性 , 無磁性 |