產品

●真空系統———-●PVD ●PECVD  ●MPCVD ●E-BEAM 蒸鍍 ●蒸鍍 

●自動鈕扣電池壓合機 ●手動鈕扣電池壓合機  ●電池測試儀

●塗佈機●水熱合成反應釜 ●四點探針台 ●滾筒罐磨機  

●手動沖片機 

 

 

儀器設備

●烘箱/真空烘箱 ●冰水機 ●光學玻璃.晶圓切割台 ●手套箱 

真空零組件

●真空泵浦-(油式迴轉泵浦–乾式泵浦–擴散泵浦–渦輪泵浦–冷凍泵浦)

●真空閘閥 ●真空角閥 ●真空線性&旋轉運動組件 ●真空放洩閥

●濺鍍槍 ●基板加熱器●FEEDTHROUGH ●質量流量計與顯示器

●真空計與顯示器 ●壓力控制器 ●真空過濾器 ●視窗

●真空法蘭及連接配件 ●氣體管路零配件

 

耗材

●濺鍍靶材 ●基板及光學玻璃-(Si基板 –SiC基板–Sapphire–光學玻璃基板) 

●石英管 ●坩堝  ●真空油與油脂